How to Use　真空中での加熱

　大気中の、酸化などの化学変化、不純物による汚染などを排除するために、真空中での加熱が必要な場合があります。ヒーター、温度センサーともに、真空中での使用に対応したものを使用する必要があります。

■ 必要な性能

アウトガスが出ない 　真空度を下げたり、汚染することを防止します。 ヒーターまたは温度センサーの性能を維持できる構造 　絶縁物や発熱体は、酸化雰囲気以外では性能が低下しますので、真空にさらされない構造にする必要があります。

■ 真空対応のタイプ

真空フランジタイプ 　真空装置に取りつけるフランジ（シール面）を設けたタイプです。端子部は真空雰囲気の外に出します。 ハーメチックタイプ 　ヒーター端子部を、ハーメチック碍子で完全密封したタイプです。全体を真空中に入れて使用します。

　■真空用のヒーター／センサー

　真空中で使用するための、製品形状例です。

カートリッジヒーター	ハーメチックタイプ
L型 標準形状（ストレート）

サイカンヒーター	ハーメチックタイプ
W型（段付） W型（ストレート） S型

シーズヒーター	ハーメチックタイプ

熱電対（温度センサー）	ハーメチックタイプ

熱電対（温度センサー）	真空フランジタイプ

真空用ヒーターとセンサーを使用した均熱ホットプレート

ハーメチックタイプのカートリッジヒーターを使用 　ハーメチックタイプのサイカンヒーターを使用

　■試験設備

　真空中で、確実に動作することを確認するためには、専用の試験設備が必要です。

	真空チャンバー 　使用する真空雰囲気と同じ環境で、温度計測を行なうことができます。 　測定可能最大寸法：1200 x 1500 x 300 　温度：600℃ max（小さいものは1000℃ max）
	ヘリウムリークディテクタ 　気密が必要な製品の漏れ検査を行なうための計測器です。