No.7 真空中での加熱


     大気中の、酸化などの化学変化、不純物による汚染などを排除するために、真空中での加熱が必要な場合があります。ヒーター、温度センサーともに、真空中での使用に対応したものを使用する必要があります。
■ 必要な性能
  • アウトガスが出ない

 真空度を下げたり、汚染することを防止します。

  • ヒーターまたは温度センサーの性能を維持できる構造

 絶縁物や発熱体は、酸化雰囲気以外では性能が低下しますので、真空にさらされない構造にする必要があります。

■ 真空対応のタイプ

真空フランジタイプ

 真空装置に取りつけるフランジ(シール面)を設けたタイプです。端子部は真空雰囲気の外に出します。

ハーメチックタイプ

 ヒーター端子部を、ハーメチック碍子で完全密封したタイプです。全体を真空中に入れて使用します。


 ■真空用のヒーター/センサー

 真空中で使用するための、製品形状例です。

カートリッジヒーター ハーメチックタイプ

L型

標準形状(ストレート)


サイカンヒーター ハーメチックタイプ
W型(段付)

W型(ストレート)

S型

シーズヒーター ハーメチックタイプ

熱電対(温度センサー) ハーメチックタイプ

熱電対(温度センサー) 真空フランジタイプ


真空用ヒーターとセンサーを使用した均熱ホットプレート
 ハーメチックタイプのカートリッジヒーターを使用
 ハーメチックタイプのサイカンヒーターを使用

 ■試験設備

 真空中で、確実に動作することを確認するためには、専用の試験設備が必要です。

真空チャンバー

 使用する真空雰囲気と同じ環境で、温度計測を行なうことができます。

 測定可能最大寸法:1200 x 1500 x 300
 温度:600℃ max(小さいものは1000℃ max)
ヘリウムリークディテクタ

 気密が必要な製品の漏れ検査を行なうための計測器です。